无尘室工程操作须知
无尘室主要应用(yòng)在電(diàn)子、航天、航空、机械、化工、化學(xué)制药、能(néng)源、纳米等工业中。尤其是電(diàn)子工业和光電(diàn)子工业更是离不开洁净室和洁净技术。那么上海中沃带您了解一下无尘室如何操作：
1. 处理(lǐ)芯片时，必须戴上无纤维手套，使用(yòng)清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用(yòng)：
(1) 任何支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿(ná)去清洗请勿用(yòng)纸巾或布擦拭脏镊子。
(2) 芯片清洗后进行下程序前，若被手指碰触过，必须重新(xīn)清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用(yòng)镊子有(yǒu)污损现象或芯片上有(yǒu)显眼由镊子所引起的污染，必须将芯片重新(xīn)清洗，并立即更换干净的镊子使用(yòng)。
2. 芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可(kě)能(néng)不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有(yǒu)纤维屑时，用(yòng)专工具喷之。
4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可(kě)从吸座上移走芯片。
5. 芯片上，若已長(cháng)上氧化层，在送黄光室前切勿用(yòng)钻石刀(dāo)在芯片上刻记。
6. 操作时，不论是否戴上手套，手绝不能(néng)放进清洗水槽。
7. 使用(yòng)化學(xué)站或烤箱处理(lǐ)芯片时，務(wù)必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可(kě)使用(yòng)塑料盒。
8. 摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新(xīn)清洗芯片，然后再进氧化炉。
9. 请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有(yǒu)碎芯片污染，必须重作清洗。
10. 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多(duō)必须换新(xīn)。
11. 非经指示，绝不可(kě)开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。
12. 奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。
13. 仪器因操作错误而有(yǒu)任何损坏时，務(wù)必立刻告知负责人员或老师。
14. 芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。
15. 无尘室内律使用(yòng)原子筆(bǐ)及无尘筆(bǐ)记本做记录，般纸张与铅筆(bǐ)不得携入。
客服