洁净室的负荷特点和节能(néng)
实现洁净度要求的通风措施
洁净室要达到洁净等级，必须有(yǒu)综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物(wù)料净化、空气洁净措施、维护管理(lǐ)等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有(yǒu)以下几项具體(tǐ)措施 ：
（1） 对洁净室的送风必须是有(yǒu)很(hěn)高洁净度的空气。因此，必须选用(yòng)高效或亚高效过滤器（洁净级别低时）作為(wèi)终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行一级过滤。為(wèi)保护终端过滤器和延長(cháng)其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
（2） 根据洁净室的等级，合理(lǐ)选择洁净室的气流分(fēn)布流型，在工作區(qū)应避免涡流區(qū)；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作區(qū)；气流的流动有(yǒu)利于洁净室内的微粒从回风口排走。
（3） 有(yǒu)足够的风量，既為(wèi)了稀释空气的含尘浓度，又(yòu)保证有(yǒu)稳定的气流流型。
（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净室气流组织考虑原则
1） 当产品要求洁净度為(wèi)100级时，选用(yòng)层流流型；当产品要求洁净度為(wèi)1000~100000级时，选用(yòng)乱流流型。
（2） 减少涡流，避免把工作區(qū)以外的污染物(wù)带入工作區(qū)。
（3） 為(wèi)了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能(néng)过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作區(qū)的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
（4） 工作區(qū)的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可(kě)能(néng)把工作部位围罩起来，使污染物(wù)在扩散之前便流向回风口。
（5） 工作设备布置时要留有(yǒu)一定的间隔，為(wèi)送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
（6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作區(qū)气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。
（7） 洁净室内有(yǒu)通风柜时，宜置于工作區(qū)气流的下风侧，以减少对室内的污染。
洁净室的负荷特点和节能(néng)
一般情况下，净化空调系统的能(néng)耗比一般空调系统的能(néng)耗大的多(duō)。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室，尤其是半导體(tǐ)工业洁净室而言，其负荷特点是：由于排风量大造成新(xīn)风量大，故新(xīn)风处理(lǐ)所需冷量消耗大；送风量大，输送动力消耗大，风机管道温升高；生产设备的发热量大，消耗冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。因此，净化空调系统节能(néng)措施应从减少新(xīn)风量（减少排风量）；控制送风量（合理(lǐ)确定换气次数）；充分(fēn)利用(yòng)回风量；选择低阻力高效率的空调和净化设备和可(kě)变风量的风机等入手。
洁净室设计对生产工艺的要求
（1） 洁净环境是為(wèi)生产工艺服務(wù)的，洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求，这是理(lǐ)所当然的。因此，在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是，其面积、层高，温度、湿度，洁净度等应该该高则高，该低则低，并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可(kě)能(néng)地降低参数要求，控制净化面积，缩小(xiǎo)高净化级别洁净區(qū)的范围，严格控制100级和更高级别单向流洁净區(qū)的面积。
（2）在生产工艺平面區(qū)划时尽可(kě)能(néng)把相同级别的洁净房间布置在一起，把洁净度要求高的工序设置在上风侧，把产生粉灰、有(yǒu)毒、有(yǒu)害、易燃、易爆废气的工艺设备、容器尽可(kě)能(néng)放在洁净區(qū)外，若必须放在洁净區(qū)内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。
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