洁净車(chē)间如何防患微粒子污染?
洁净車(chē)间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有(yǒu)害空气、细菌等污染物(wù)排出，并将室内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分(fēn)布、噪音振动及照明、静電(diàn)控制在某一需求范围内，不论外在环境条件如何变化，洁净車(chē)间内均能(néng)维持设定所要求的洁净度、温湿度及压力等性能(néng)。
洁净車(chē)间很(hěn)主要作业在于控制产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能(néng)在一个良好环境空间中生产、制造、测试、试验、提升产品质量，是污染敏感产品重要的生产保证设施。那么洁净車(chē)间内该如何防止微粒子污染呢(ne)？上海中沃告诉您应遵守下列四项基本原则：
一、不携入
在洁净車(chē)间内不携入微粒子的方法有(yǒu)：
1）作业员进入洁净車(chē)间前，机台、零件携入前应进行清洁处理(lǐ)；
2）进入洁净車(chē)间者在更衣室要穿着不发尘、不产生静電(diàn)的具特殊导電(diàn)性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通过风淋室时利用(yòng)高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能(néng)进入洁净車(chē)间。
4）机器及材料带进洁净車(chē)间前，应尽可(kě)能(néng)在密封状态下带进洁净車(chē)间前室保养后用(yòng)超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入洁净車(chē)间。
5）洁净車(chē)间中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有(yǒu)filter的排气用(yòng)小(xiǎo)型fan于腰间。
二、不制造
在控制很(hěn)多(duō)污染源--人在净洁净車(chē)间内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物(wù)品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物(wù)品在移动时也会有(yǒu)微粒子的发生。故為(wèi)了控制发尘量达到很(hěn)小(xiǎo)限度应采取以下对策：
1）减少接触剥离发尘的动作形态；
2）采用(yòng)磨耗发尘小(xiǎo)的材质；
3）采用(yòng)发尘小(xiǎo)的润滑油；
4）机台应用(yòng)空压浮上的非接触化工作原理(lǐ)。
三、不储备
若能(néng)彻底实施“不携入”技术，洁净室内的洁净度就可(kě)以维持。但现实中人和物(wù)品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的洁净車(chē)间内要有(yǒu)完全洁净度是不可(kě)能(néng)的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用(yòng)以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静電(diàn)吸附力而停留在周边的物(wù)體(tǐ)表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
在很(hěn)高等级的洁净車(chē)间中从天花(huā)板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下的流动。这是在约10秒(miǎo)内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有(yǒu)精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因為(wèi)在流通路径中有(yǒu)障碍物(wù)的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留區(qū)域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而長(cháng)时间漂流在洁净車(chē)间内，而一部分(fēn)会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可(kě)防止微粒子累积，但对于带電(diàn)表面的微粒累积就无法防止。
洁净車(chē)间内的浮游微粒子浓度，使用(yòng)高性能(néng)的过滤器即可(kě)容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。
四、排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中，為(wèi)了不让洁净車(chē)间内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能(néng)源消耗。所以无法说是一定理(lǐ)想的对策。因此尽可(kě)能(néng)地在压缩排气量的同时，是向洁净室外排气，而应采用(yòng)将除去粒子后的空气再回流到洁净車(chē)间内之对策。
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